Invar sheet의 두께는 FMM의 해상도와 밀접한 관련이 있습니다. 두께가 얇을수록 고해상도 Mask 제작에 유리합니다.
자체 개발한 박판화 기술은 스마트폰 OLED용 20㎛~30㎛ 두께의 Sheet 뿐만 아니라, 3,000ppi 이상의 초고해상도 FMM에 필요한 두께 8㎛ 이하의 초극박 Invar Sheet 제작도 가능합니다.
레이저 기술
미세 패터닝의 주요 공정
특징
미세 레이저 패터닝
펨토초 레이저 : 초단파 Cold ablation
마스크 투영 : 미세 제어 Shaping
고유 공정 : 열 효과 제어
토탈 솔루션
얇은 금속 시트, 레이저 공정, 자동 세척, 검사 및 측정
다양한 고정밀 제품
초고해상도 메탈 마스크
유리 & PI 마스크
세정 기술
레이저 가공 시 USPL을 이용한 Cold ablation 공정, Beam Shaping 광학계 그리고 Thermal Effect Free 공법의 조합 의한 가공물은 고착성 잔해물을 발생시키지 않습니다. 그러나 Ablation 공정은 가공부 주위에 고착성 잔해물을 발생시킵니다.
당사의 세정 기술은 레이저 가공 시 Ablation 공정 과정에서 발생된 고착성 잔해물의 제거에 특화되어 개발되었습니다.
당사의 세정 설비는 완전 자동화되어 해당 잔해물을 완벽하게 제거합니다.
검사 기술
당사의 검사 기술은 레이저에 의해 가공된 패턴에 특화된 다양한 측정이 가능합니다. 패턴의 크기 및 위치 뿐만 아니라, 3D 형태에 이르기까지 나노급 정밀도로 측정합니다.
또한, ㎛급 사이즈에 대한 이물 검출도 동시에 수행될 수 있습니다.
이러한 측정과 검출은 간단한 조작에 의해 수천만개의 가공홀이 한번에 전수 검사될 수 있습니다.
